私は２０年間、半導体の製品技術として品質や歩留改善に努めて来ましたが、その製造課もなくなってしまい、人事異動でイオン注入…

Question

私は２０年間、半導体の製品技術として品質や歩留改善に努めて来ましたが、その製造課もなくなってしまい、人事異動でイオン注入のプロセス技術担当に配属になりました。同じ半導体でも仕事内容があまりにも異なり、わからないことだらけで戸惑っています。特にインフラ関係はさっぱりです。ガス、電気、用水の連結方法や、配管の材質、減圧弁やダンパーやバルブの種類など、初めて触れる内容ばかりで全くわかりません。本屋に行って調べようとしたのですが、適切なものが見つからず足踏み状態です。勉強する意欲はあるので、基本から学べる何か良い教材を教えてもらえはいでしょうか？

Answer 1

20年間、半導体の品質・歩留まり改善をされてきたのであれば、イオン注入のプロセス担当になられても十分に活躍されることと思います。私は、半導体のエンジニアになって最初の数年間をイオン注入のプロセスエンジニアとして過ごし、その後、インテグレーションのエンジニアになりました。

イオン注入技術の概要については、丸善から出版されている「半導体イオン注入技術」などを読んだ記憶があります。（非常に古い本ですが、基本的な部分は今も変わりません）。新しい技術に関しては、各学会の論文などに時々掲載されていますが、基本的には「イオン注入技術の応用方法」で、ほとんど半導体製造に無関係なものが多いです。
これらの論文には質問者様の知りたい内容と思われる、「装置の使いこなし方や管理の方法」、「品質改善の手段」については、ほぼ掲載されていません。

それよりも、私が最も役に立ったと思う教材は装置メーカー作成の教材でした。仕様書も役に立ちます。
装置メーカーによっては様々なトレーニング、講習会を実施しています。また、セミコン等でメーカー主催のセミナーもあります。それらの講習会に出席すれば、実際の装置の資料が入手できます。御社でも前任者がお持ちではないでしょうか？
ガスについては、ガスメーカーの担当者と話をするのもいいと思います。安全関係やボンベ、バルブの知識など一通り教えてもらえると思います。同様にポンプについてはポンプメーカーでも教えてもらえると思います。